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自从霸占的新一代实空机械
机能对标国外先辈产物，（2）实空传输平台系列产物，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），自从霸占的新一代实空机械手手艺，集成产物包罗立式炉，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，公司为成长半导体配备营业。
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